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SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀助力半導(dǎo)體智能制造

更新時(shí)間:2020-05-07      點(diǎn)擊次數(shù):1363

隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展,8 inch和12 inch晶圓已成行業(yè)主流,為適應(yīng)現(xiàn)代化智能制造工廠生產(chǎn)管理需求,中圖儀器在SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀基礎(chǔ)上進(jìn)行升級(jí),推出了新一代于半導(dǎo)體行業(yè)大尺寸晶圓自動(dòng)化檢測(cè)的W3型光學(xué)3D表面輪廓儀。

SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀,為半導(dǎo)體行業(yè)微觀檢測(cè)量身打造,具有多個(gè)顯著的優(yōu)點(diǎn):

1.大300*300mm的行程,可適配12inch及以下的所有尺寸的晶圓;

2.同時(shí)兼容12inch及以下規(guī)格的真空吸盤(pán),一臺(tái)設(shè)備,即可適用于多條產(chǎn)線;

3.可編程自動(dòng)化測(cè)量,使用“低倍搜索,高倍測(cè)量”的方式,可以快速實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的高精度定位測(cè)量。

觀看SuperView W3光學(xué)3D表面輪廓儀用于半導(dǎo)體劃片工藝,激光鐳射切割槽道輪廓深寬尺寸測(cè)量短視頻,感受其*魅力!

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