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國產(chǎn)激光干涉儀的光路調(diào)節(jié)方法

更新時間:2022-10-20      點擊次數(shù):690
  國產(chǎn)激光干涉儀是以光波為載體,測量精度高,測量速度快,測量范圍大,其光波長可直接定義為米,并可追溯到標(biāo)準(zhǔn)。以其良好的性能、在很多場合,特別是在大長度與大位移的測量中得到廣泛應(yīng)用。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機床等儀器的質(zhì)量控制和校準(zhǔn),以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。
 
  結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數(shù)的高精度測量。在動態(tài)測量軟件的配合下,可以實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量和性能檢測,以及位移、速度、加速度、振幅和頻率的動態(tài)分析。在調(diào)節(jié)光路時,請遵循以下基本流程:
 
  1、將國產(chǎn)激光干涉儀放置在可調(diào)底座(如有)上,通電點亮激光器,等待其預(yù)熱;如預(yù)熱結(jié)束,尾部的“READY”LED指示燈會顯示綠色。鎖定激光器位置。
 
  2、將所有導(dǎo)光元件初步固定在導(dǎo)光元件可調(diào)底座上,并安裝在設(shè)計位置;沿著光路順序,逐個調(diào)節(jié)導(dǎo)光元件。遇到光路分叉時,請先調(diào)節(jié)反射光路,然后調(diào)節(jié)投射光路。調(diào)節(jié)時請注意以下兩點:
 
  a:出光口的光闌,選擇大光斑(6mm或者9mm光斑),依次調(diào)整導(dǎo)光元件的橫向位置,使光束從導(dǎo)光元件通光孔的中心入射,保證光束不會出現(xiàn)消光現(xiàn)象;
 
  b:選擇小光斑(3mm光斑),依次調(diào)節(jié)各個導(dǎo)光元件的位置。將一平面鏡(前后面平行度較高)緊貼導(dǎo)光元件的反射光出口處,通過調(diào)整可調(diào)底座的俯仰度和傾斜度,使反射光沿原路返回至激光器出光處。然后鎖緊導(dǎo)光元件的位置。
 
  3、裝調(diào)完所有的導(dǎo)光元件之后,再安裝干涉儀。
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