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精度不夠?PLR3000光纖激光尺:0.2ppm誤差解鎖微米級制造

更新時(shí)間:2025-05-23      點(diǎn)擊次數(shù):269

當(dāng)“精度焦慮"成為制造業(yè)的隱形門檻:

在半導(dǎo)體光刻中,1nm偏差可能導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢;

在精密機(jī)床加工中,熱變形讓傳統(tǒng)測量工具“失靈"……  

“高精度、高穩(wěn)定、抗干擾"——工業(yè)超精密制造的三大痛點(diǎn),如何破局?


PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測量原理,具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),保證了更高的穩(wěn)定性,同時(shí)具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點(diǎn),在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

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核心優(yōu)勢

1、高精度

分辨率10nm(可拓展),線性測量精度0.2ppm,穩(wěn)頻精度0.02ppm,滿足納米級測量需求。

環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、濕度、氣壓對測量的影響,確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。

2、靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,適配復(fù)雜場景。

3、高穩(wěn)定性與便捷性

激光光源與探頭分離設(shè)計(jì),3米鎧裝光纖連接,避免設(shè)備散熱干擾,安裝靈活。

體積小巧,適配狹小空間,降低阿貝誤差風(fēng)險(xiǎn)。

4、廣泛適用性

最大量程4米(可拓展),支持動態(tài)速度達(dá)2m/s,覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運(yùn)動場景。


光纖激光尺比傳統(tǒng)光柵精度高10倍,分辨率達(dá)原子層級(10nm=100個(gè)原子直徑!)  PLR3000 系列光纖激光尺已在多個(gè)客戶端進(jìn)行精度驗(yàn)證:用差分干涉(DI)探頭對高精度納米位移臺進(jìn)行閉環(huán)控制,在10mm行程內(nèi)任意位置實(shí)現(xiàn)納米級位置控制精度。

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