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光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀

簡(jiǎn)要描述:隨著白光干涉測(cè)量技術(shù)的發(fā)展和完善,白光干涉儀已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,中圖的光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-03-06
  • 訪  問  量:1053

詳細(xì)介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)
加工定制

白光干涉儀屬于3D測(cè)量領(lǐng)域檢測(cè)的高精度檢測(cè)儀器之一,其在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它的儀器無法達(dá)到其精度要求。


中圖儀器光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀采用經(jīng)國(guó)家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件,采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收,其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右,測(cè)量精度要求為<0.75%,重復(fù)精度要求<0.1%(1σ)(測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差),主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測(cè)量,主要測(cè)量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓等。


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中圖光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀支持自動(dòng)聚焦功能,只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面(小于鏡頭工作距離),選擇好聚焦范圍,即可自動(dòng)聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。


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特點(diǎn)

一是非接觸高精密測(cè)量,不會(huì)劃傷甚至破壞工件;

二是測(cè)量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量;

三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置;

四是對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。


隨著白光干涉測(cè)量技術(shù)的發(fā)展和完善,白光干涉儀已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,白光干涉儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。



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