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VT6000共聚焦三維表面形貌測量顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000三維共焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖chotest共聚焦顯微鏡具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能，以及具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長度、角度、半徑等尺寸測量。

VT6000國產(chǎn)共聚焦3D材料分析顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在樣品表面進(jìn)行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000非接觸式3D共聚焦顯微系統(tǒng)以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。