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SuperViewW1光學(xué)三維輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SJ5730高精度輪廓度測量儀是測量各種機械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌，移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長；測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用。

SuperViewW1輪廓度光學(xué)測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。針對芯片封裝測試流程的測量需求，SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓測量儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定

SJ5800中圖接觸式輪廓儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測量。同時儀器還可對各種精密零件輪廓度、波紋度進行測量，對形狀參數(shù)進行分析。

SuperViewW1粗糙度輪廓光學(xué)測量儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器輪廓掃描測量儀X軸、Z軸采用獨立運動系統(tǒng)，使用先進的兩軸聯(lián)動運動控制算法，可實現(xiàn)X、Z雙軸聯(lián)動掃描，測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調(diào)平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。該產(chǎn)品還支持量程定制，適用于各行業(yè)領(lǐng)域的實驗室或工作現(xiàn)場使用。