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SuperViewW1光學(xué)輪廓儀白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW1-Pro三維輪廓形貌測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理的一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器?？梢詼y到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為200×200㎜，局部位移精度可達(dá)亞微米級別，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器大量程輪廓測量儀是測量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。該儀器工作臺采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動垂直道軌，移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長；測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計(jì)量室使用。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。

3d光學(xué)干涉輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

中圖儀器SJ5730接觸式3D輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，該儀器具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評價(jià)功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。